特許
J-GLOBAL ID：200903018634156978
加速度センサ
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
広瀬 和彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-263013
公開番号（公開出願番号）：特開平6-088837
出願日： 1992年09月04日
公開日（公表日）： 1994年03月29日
要約：
【要約】【目的】 可動電極と固定電極との間を確実に電気的に絶縁し、全体構造を簡素化しつつ、ノイズの影響を低減して加速度の検出精度,検出感度を向上する。【構成】 抵抗率が小さいシリコン材料からなる第1の基板としての上側基板1の下面側に絶縁性材料からなる第2の基板としての下側基板2を設け、支持梁4の全周に亘って上側基板1を上面側から下面側まで貫通する絶縁溝5を穿設することにより、支持梁4と該支持梁4に対向する各固定部6とを一体的に形成する構成とした。これにより、支持梁4と各固定部6とは絶縁溝5により電気的に絶縁され、質量部4Cは可動電極を構成し、各突出部6Aは固定電極をそれぞれ構成する。
請求項（抜粋）：
低抵抗のシリコン材料から形成された第1の基板と、該第1の基板の下面側に設けられ、該第1の基板と電気的に絶縁された第2の基板とを備え、前記第1の基板は、加速度に応じて水平方向に変位する質量部を有する支持梁と、該支持梁の全周に亘って前記第1の基板を貫通して設けられた絶縁溝と、該絶縁溝を挟んで前記支持梁の両側に設けられ、前記第2の基板に固定された固定部とから構成してなる加速度センサ。
IPC (3件)：
G01P 15/125
, H01L 21/308
, H01L 29/84
