特許
J-GLOBAL ID：200903018639840931
現像装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
樺澤 襄 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-123613
公開番号（公開出願番号）：特開平5-326393
出願日： 1992年05月15日
公開日（公表日）： 1993年12月10日
要約：
【要約】【目的】 現像残りが生じにくく、現像の際に欠陥が発生しにくい現像装置を提供する。【構成】 ガラス基板10を搬送ローラ15から現像液塗布室12に搬入する。現像液20の液面をガラス基板10の搬送面より高く保持することにより、現像液20内で発生した泡は液面方向に上昇するため、現像液20中を搬送されるガラス基板10に泡の付着を防止する。ガラス基板10を現像液塗布室12から搬送ローラ16に搬出する。ガラス基板10の上面に塗布された現像液20を、表面張力により現像液がこぼれることなく現像を進行させる。現像液塗布室12を通過したガラス基板10の裏面の現像液20は不要であるため、はけ28で剥離し、現像液20の消費量を抑制する。現像液塗布室12内でレジストの溶解しないため、汚染されてなく、循環させて再使用しても再現性がよい。
請求項（抜粋）：
被現像処理体を搬送して現像液を塗布し、現像を行なう現像装置において、前記被現像処理体の搬送面よりも前記現像液の液面を高くした現像液塗布室を設け、前記被現像処理体を前記現像液塗布室の現像液中を通過させることにより、現像液を塗布させて現像を行なうことを特徴とした現像装置。
IPC (3件)：
H01L 21/027
, G02F 1/13 101
, G03F 7/30 502
