特許

J-GLOBAL ID：200903018656847850

イオナイザーの除電能力検出装置

発明者： 山下 由美子 ,  鈴木 功一 ,  佐藤 定信
出願人/特許権者： 日本電気株式会社
代理人 (1件)： 藤巻 正憲
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-077883
公開番号（公開出願番号）：特開平11-271372
出願日： 1998年03月25日
公開日（公表日）： 1999年10月08日
要約：

【要約】【課題】 過剰動電荷量測定器を利用して、イオナイザーの除電能力を高精度で検出することができ、装置構成をコンパクトにすることができるイオナイザーの除電能力検出装置を提供する。【解決手段】 プローブ8はLSI等の帯電物に接触して電荷量を電荷量接触部に入力する。電荷量測定部は、抵抗6と、この抵抗に一方の入力端が接続されたオペアンプ3と、このオペアンプの前記一方の入力端と他方の入力端との間に接続されたコンデンサ4とを有し、前記オペアンプの他方の入力端に対する電圧として出力された前記オペアンプの出力を基に電荷量を計算し、これを表示する計算・表示部2とを有する。そして、抵抗6とプローブ8との間に両者の導通をオンオフするスイッチ7が設けられている。

請求項（抜粋）：

電荷量測定部と、帯電物に接触して電荷を前記電荷量測定部に入力するプローブと、前記電荷量測定部と前記プローブとの間に設けられ両者の導通をオンオフするスイッチと、を有することを特徴とするイオナイザーの除電能力検出装置。