特許
J-GLOBAL ID：200903018667190845
細孔径分布測定装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
竹沢 荘一 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-048723
公開番号（公開出願番号）：特開2001-235417
出願日： 2000年02月25日
公開日（公表日）： 2001年08月31日
要約：
【要約】【課題】 高価な装置を用いることなく、また被検体の形態を崩すことなく、被検体のメソボアからマイクロボアの領域までの細孔の径及びその分布状況を正確に測定できるようにした細孔径分布測定装置を提供する。【解決手段】 細孔を有する被検体5を、その細孔の一端が1次チャンバ2に、かつ細孔の他端が2次チャンバ3にそれぞれ連通するようにして、被検体5を保持する保持手段3と、1次チャンバ2に非凝縮性ガスと凝縮性ガスとの混合気体である検査ガスを供給する検査ガス供給手段7と、検査ガス供給手段7中に設けられ、1次チャンバ2に供給される非凝縮性ガスと凝縮性ガスとの混合割合を調節する調節手段14、16と、2次チャンバ3に接続され、被検体5を通過した検査ガスの量を経時的に測定する測定手段40とを備えるものとする。
請求項（抜粋）：
細孔を有する被検体を、その細孔の一端が1次チャンバに、かつ細孔の他端が2次チャンバにそれぞれ連通するようにして、被検体を保持する保持手段と、1次チャンバに非凝縮性ガスと凝縮性ガスとの混合気体である検査ガスを供給する検査ガス供給手段と、検査ガス供給手段中に設けられ、1次チャンバに供給される非凝縮性ガスと凝縮性ガスとの混合割合を調節する調節手段と、2次チャンバに接続され、被検体を通過した検査ガスの量を経時的に測定する測定手段とを備えることを特徴とする細孔径分布測定装置。
FI (2件)：
G01N 15/08 H
, G01N 15/08 D
