透明導電膜形成用組成物と透明導電膜の形成方法

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：小鍜治明 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-184422
公開番号（公開出願番号）：特開平5-028834
出願日： 1991年07月24日
公開日（公表日）： 1993年02月05日
要約：

【要約】【目的】低抵抗で高透過率の透明導電膜を安定して形成することが可能な、透明導電膜形成用組成物と透明導電膜の形成方法を提供することを目的とする。【構成】無機インジウム化合物と有機錫化合物と、インジウムと錫のいずれとも配位可能な有機化合物とからなる有機溶液を加熱処理することにより、有機化合物が1部配位した、無機インジウム化合物と有機錫化合物と無機インジウム化合物が含有する結晶水とが反応し、有機錫化合物が部分的に加水分解されて、インジウムと錫の中間複合化合物を形成し、これによって従来の課題であった錫の蒸散による膜の不均一化を抑え、低抵抗率と高透過率を有する膜を得ることができるものである。また、多価アルコール類の添加による溶液の増粘効果により、前記組成物を基板に塗布・乾燥して得られる被膜に安定性を与えるものである。

請求項（抜粋）：

無機インジウム化合物と有機錫化合物と、インジウムと錫のいずれにも配位可能な有機化合物を主体とする有機溶液を加熱処理して部分的に加水分解させ、前記有機溶液に多価アルコール類を混合して得られる透明導電膜形成用組成物。

IPC (5件)：

H01B 5/14 , H01B 13/00 503 , H01L 31/04 , H05B 33/28 , H01L 29/40

引用特許：

審査官引用 (5件)

特開昭57-067048
特開平1-116082
特開昭57-200209

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