特許

J-GLOBAL ID：200903018671514655

限界電流式酸素センサ

発明者： 鹿嶋 孝文 ,  中村 克明 ,  石橋 功成 ,  加藤 嘉則
出願人/特許権者： 株式会社フジクラ ,  財団法人地球環境産業技術研究機構
代理人 (1件)： 伊丹 勝
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-275546
公開番号（公開出願番号）：特開平6-102234
出願日： 1992年09月18日
公開日（公表日）： 1994年04月15日
要約：

【要約】【目的】優れた熱効率と優れた限界電流特性を実現した薄膜型の限界電流式酸素センサを提供することを目的とする。【構成】シリコン基板11上にシリコン酸化膜12を介してZrO2 -Y2 O3膜13が形成され、この上に櫛形パターンをもって互いに噛み合うカソード電極14とアノード電極15が形成され、この上に気体拡散層16が形成され、更にこの上にヒータ電極17が配設されている。ヒータ電極17は、カソード電極14とアノード電極15の間隙部を覆うように蛇行パターンをもって形成されて、ZrO2 -Y2 O3 膜13のうち実際にイオン伝導が生じるカソード電極14とアノード電極15の間に位置する部分が効果的に加熱される。

請求項（抜粋）：

基板上に、酸化物イオン伝導体膜と、このイオン伝導体膜に接して同一平面上で対向する少なくとも一対のカソード電極およびアノード電極とが形成され、かつ前記カソード電極に対する酸素ガス拡散を制限する気体拡散層を有する限界電流式酸素センサにおいて、前記酸化物イオン伝導体膜上の前記カソード電極とアノード電極の間隙部に沿ってヒータ電極が配設されていることを特徴とする限界電流式酸素センサ。

FI (2件)：

G01N 27/46 325 K ,  G01N 27/46 325 Z

引用特許：

審査官引用 (2件)

• 特開昭62-198748
  
• 特開昭53-074495