特許
J-GLOBAL ID：200903018673529102
基板の吸着方法及び装置
発明者：
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出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-096134
公開番号（公開出願番号）：特開平5-291725
出願日： 1992年04月16日
公開日（公表日）： 1993年11月05日
要約：
【要約】【目的】 レジストフィルムをラミネートした基板の周縁部の浮き上りを抑える。【構成】 レジストフィルム4を基板3の周縁部よりはみ出させてラミネート5した後ステージ上の試料台1に載置し、このはみ出させたレジストフィルム5を吸着穴2で吸着し、はみ出させたレジストフィルム5の部分も基板3の吸着に寄与させ、基板3の周縁部の浮上りを矯正して基板3を試料台1に吸着固定する。
請求項（抜粋）：
レジストフィルムを基板の周縁部よりはみ出させてラミネートした後ステージ上の試料台に載置し、前記はみ出させたレジストフィルムの部分も基板吸着に寄与させ、基板の周縁部の浮上りを矯正して基板を前記試料台に吸着固定することを特徴とする基板の吸着方法。
IPC (2件)：
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