特許
J-GLOBAL ID：200903018675260151
波長検出装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
橋爪 良彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-356290
公開番号（公開出願番号）：特開平6-188502
出願日： 1992年12月21日
公開日（公表日）： 1994年07月08日
要約：
【要約】 (修正有)【目的】 本発明は波長検出装置に係わり、特には、半導体露光装置の光源として使用される狭帯域エキシマレーザ装置の波長の安定化の改良を目的とする。【構成】 フリースペクトラルレンジの異なる複数個のエタロン(コースエタロン23、ファインエタロン33)を備えた波長検出装置において、複数個のエタロンに基準光と被検出光を入射透過させる手段と、複数個のエタロンにより発生する基準光および被検出光の干渉縞を検出する手段(ラインセンサ27,37)と、複数の干渉縞に基づいて被検出光の絶対波長を計算する手段を備えている。
請求項（抜粋）：
フリースペクトラルレンジの異なる複数個のエタロンを備えた波長検出装置において、複数個のエタロンに基準光と被検出光を入射透過させる手段と、複数個のエタロンにより発生する基準光および被検出光の干渉縞を検出する手段と、複数の干渉縞に基づいて被検出光の絶対波長を計算する手段を備えたことを特徴とする波長検出装置。
IPC (2件)：
引用特許：
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