特許

J-GLOBAL ID：200903018684996578

MEMSスイッチ

発明者： 川久保 隆 ,  長野 利彦 ,  西垣 亨彦
出願人/特許権者： 株式会社東芝
代理人 (1件)： 堀口 浩
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-228748
公開番号（公開出願番号）：特開2008-053077
出願日： 2006年08月25日
公開日（公表日）： 2008年03月06日
要約：

【課題】接触抵抗を低く保つことができ、寿命が長いMEMSスイッチの提供。【解決手段】本発明に係るMEMSスイッチは、固定電極3又は下部電極5の少なくとも一方はAuで構成され、他方は、Ir、Rh、Os、Ru、Re、Teから選ばれた一つの金属、又は、TiN、ZrN、HfN、VNから選ばれた一つの金属を主成分として構成されている。 【選択図】図2

請求項（抜粋）：

基板と、 前記基板上に設けられた固定電極と、 前記基板上に設けられ、前記固定電極に対向配置された可動電極を有し、前記基板方向に対して屈曲変位することで、前記固定電極と前記可動電極とを直接接触させる梁と、 前記梁の屈曲変位を制御する制御手段と、を備え、 前記固定電極又は前記可動電極の少なくとも一方はAuで構成され、他方は、Ir、Rh、Os、Ru、Re、Teから選ばれた一つないしは二つ以上の金属を主成分として構成されていることを特徴とするMEMSスイッチ。

IPC (8件)：

H01H 57/00 ,  H01H 49/00 ,  H01H 1/04 ,  B81B 3/00 ,  C22C 5/04 ,  C22C 5/02 ,  C22C 27/00 ,  C22C 28/00

FI (8件)：

H01H57/00 A ,  H01H49/00 L ,  H01H1/04 A ,  B81B3/00 ,  C22C5/04 ,  C22C5/02 ,  C22C27/00 ,  C22C28/00 B

Fターム (12件)：

5G050AA03 ,  5G050AA17 ,  5G050AA26 ,  5G050AA48 ,  5G050AA50 ,  5G050AA53 ,  5G050BA04 ,  5G050BA12 ,  5G050CA01 ,  5G050DA01 ,  5G050EA01 ,  5G050FA04

引用特許：

出願人引用 (1件)

• マイクロマシンスイッチ
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2000-073469   出願人：日本電気株式会社, 東北日本電気株式会社