特許

J-GLOBAL ID：200903018688964654

縮合多環式水素系有機薄膜の着接方法

発明者： 馬場 守 ,  叶 ▲榮▼彬 ,  吉本 則之 ,  森 邦夫 ,  大石 好行
出願人/特許権者： 科学技術振興事業団
代理人 (1件)： 丸岡 裕作
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-078220
公開番号（公開出願番号）：特開2003-282599
出願日： 2002年03月20日
公開日（公表日）： 2003年10月03日
要約：

【要約】【課題】 縮合多環式水素系有機薄膜の配向性の向上を図るとともに、結晶をできるだけ大きくして着接できるようにする。【解決手段】 縮合多環式水素系有機物Mを結晶質基板である被着接体Kの表面に真空蒸着により着接する際、超伝導磁石6による磁場空間内で被着接体Kに磁場Bを印加する。そして、印加する磁場強度T(テスラ)を、T≧1とした。

請求項（抜粋）：

縮合多環式水素系有機物を被着接体の表面に真空蒸着により着接する縮合多環式水素系有機薄膜の着接方法において、蒸着時に、上記被着接体に磁場を印加することを特徴とする縮合多環式水素系有機薄膜の着接方法。

IPC (3件)：

H01L 21/363 ,  H01L 29/786 ,  H01L 51/00

FI (3件)：

H01L 21/363 ,  H01L 29/28 ,  H01L 29/78 618 B

Fターム (13件)：

5F103AA01 ,  5F103BB02 ,  5F103DD30 ,  5F103GG02 ,  5F103HH03 ,  5F103HH04 ,  5F103LL03 ,  5F103LL07 ,  5F103NN10 ,  5F103RR06 ,  5F110AA01 ,  5F110BB01 ,  5F110GG05