特許
J-GLOBAL ID：200903018689648381
表面検査装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
柏木 明
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-193782
公開番号（公開出願番号）：特開平5-034293
出願日： 1991年08月02日
公開日（公表日）： 1993年02月09日
要約：
【要約】【目的】 被検査体の表面の欠陥を高速かつ高精度に検査可能な表面検査装置を提供すること。【構成】 照明手段5により照明された被検査体2の表面の欠陥抽出を行う画像を撮像する第1撮像手段7と、欠陥判定を行う画像を撮像する第2撮像手段9とを設け、第1撮像手段7にて被検査体2の表面を撮像して得られた画像に対して欠陥が存在する確率の高い欠陥候補部分を抽出し、この欠陥候補部分に対してのみ第2撮像手段9にて得られた画像により欠陥判定を行い、第1撮像手段7と第2撮像手段9とにて欠陥抽出に適した画像と欠陥判定に適した画像とを各々独立して得ることにより、欠陥抽出と欠陥判定との各々に要求される高速かつ高精度な欠陥検出機能を他方に影響を及ぼすことなく実現可能とした。
請求項（抜粋）：
被検査体の表面を照明する照明手段と、この照明手段により照明された前記被検査体の表面を撮像する撮像手段と、この撮像手段により撮像して得られた被検査体の表面の画像に対して欠陥が存在する確率の高い欠陥候補部分を抽出する欠陥抽出手段と、この欠陥抽出手段により抽出された欠陥候補部分に対してのみ欠陥判定を行う欠陥判定手段とを備えた表面検査装置において、前記撮像手段に欠陥抽出を行う画像を撮像する第1撮像手段と欠陥判定を行う画像を撮像する第2撮像手段とを設けたことを特徴とする表面検査装置。
IPC (5件)：
G01N 21/88
, G03G 5/00 101
, G03G 21/00 118
, H04N 7/18
, G03G 15/00 103
