カラーフィルターの欠陥検査装置

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：坂間暁 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-185802
公開番号（公開出願番号）：特開平8-050079
出願日： 1994年08月08日
公開日（公表日）： 1996年02月20日
要約：

【要約】【目的】液晶ディスプレイ、CCD、等に用いられるカラーフィルターの欠陥検査装置に関し、簡単な機構で黒点、色抜け欠陥を同時に検査できる。【構成】ガラス基板2上面にはブラックマトリックス10、カラーフィルター1a,1bが施工してあり、異物11,12、白点欠陥9がある。光源3より照明光14をハーフミラー13に入射し15として基板2に投射する。ブラックマトリックス10からはの反射光17と、カラーフィルター1を透過し、全反射ミラー16で反射した反射光18及び白点欠陥9を通過した通過光19が透過光20となって検査カメラ5に入射し、画像処理判別装置22で2値化処理される。異物11,12では照明光は散乱し、輝度が低く、白点欠陥9の透過光19は散乱を受けないので画像処理により識別できる。

請求項（抜粋）：

透明基板上面に施工したカラーフィルターの欠陥検査装置であって、同透明基板上面上方に設置した光源と、前記透明基板裏面下方に設置した反射ミラーと、前記光源からの照明光を前記透明基板上面の法線方向に投射すると共に、同照明光の前記透明基板上面からの反射光及び同透明基板上面の前記カラーフィルターを透過し、前記全反射ミラーから反射する反射光を通過せしめるハーフミラーと、同ハーフミラーの上方に設置され、同ハーフミラーからの通過光を受光する検査カメラと、同検査カメラの撮像データを入力し、画像処理して前記透明基板表面、前記カラーフィルター及びこれらの表面の欠陥を処理判別する画像処理判別装置とを設けてなり、同欠陥を識別し、検出することを特徴とするカラーフィルターの欠陥検査装置。

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