検査装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：脇篤夫 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-059061
公開番号（公開出願番号）：特開平10-253726
出願日： 1997年03月13日
公開日（公表日）： 1998年09月25日
要約：

【要約】【課題】複数設けられた検査器に対して、順次異なる被検査体を同時に接続していくように検査を行って稼働率を上げることにより検査時間を短縮する。【解決手段】被検査体につながるスイッチSW1〜SWnを奇数チャンネルラインLO、偶数チャンネルラインLEにグループ分けし、奇数チャンネルラインLO、偶数チャンネルラインLEをスイッチ部21のスイッチSW11、12に並列的に接続する。そしてコンピュータ装置からの切換制御信号S1、S2によりスイッチの切り換えを行うことにより複数の被検査体の検査を同時に行えるようにする。

請求項（抜粋）：

所定種類の複数の被検査体に対して所定種類の検査を行う複数の検査器がn台備えられるものとされ、上記複数の被検査体を第1グループ〜第nグループに分割することとし、上記第1グループ〜第nグループごとから択一的に被検査体を順次同時タイミングで選択して、これら同時に選択されたn個の被検査体がそれぞれn台の検査器に対して個別に接続されるようにラインの切換えを行う第1のライン切換え手段と、上記n台の各検査器に対して接続されるべき上記選択されたn個の被検査体を、所定タイミングにより所定規則に従って入れ替えるようにラインの切換えを行う第2のライン切換え手段とを設けて、構成したことを特徴とする検査装置。

IPC (3件)：

G01R 31/36 , G01R 27/02 , G01R 31/00

FI (3件)：

G01R 31/36 Z , G01R 27/02 R , G01R 31/00

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