特許
J-GLOBAL ID：200903018709643411
回折格子の作成方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
加藤 一男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平2-409794
公開番号（公開出願番号）：特開平6-317704
出願日： 1990年12月10日
公開日（公表日）： 1994年11月15日
要約：
【要約】[目的]極微細な周期を持つ回折格子でも精度安定性良く形成できる様にする。[構成]所望の周期より大きい周期の第1の回折格子1を形成する。その上に全面に亙って格子形成材とは異なる異種材料3を塗布する。次に、この異種材料3と格子形成材を同時にエッチングして行き、異種材料3と格子形成材の境でエッチングレートの律速が起こるのを利用して第1の回折格子1の周期より小さい周期の第2の回折格子5を形成する。
請求項（抜粋）：
第1の周期の回折格子を形成するステップ、該回折格子を格子部分と異種の材料で被覆するステップ、該異種材料と該回折格子の格子形成材とを同時にエッチングすることを含むエッチングにより前記第1の周期と異なる第2の周期の回折格子を形成するステップを有することを特徴とする回折格子の作成方法。
IPC (4件)：
G02B 5/18
, C23F 1/00 102
, G02B 6/34
, C23F 4/00
