特許

J-GLOBAL ID：200903018725207494

感光性樹脂組成物およびポジ型パターン形成方法

発明者： 大島 彩
出願人/特許権者： 京セラケミカル株式会社
代理人 (1件)： 諸田 英二
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-093811
公開番号（公開出願番号）：特開2003-295430
出願日： 2002年03月29日
公開日（公表日）： 2003年10月15日
要約：

【要約】【課題】 アルカリ水溶液にて現像が可能でポジ型パターン形成能を有するポリイミド前駆体からなる高感度の感光性樹脂組成物と新規なポジ型パターン形成方法を提供する。【解決手段】 (A)次式の繰返し単位をもち、R3 ,R4 がアセタール結合もしくはエステル結合をしたビニルオキシ基含有化合物の残基である芳香族ポリイミド前躯体、(B)次式で示される多官能ビニルオキシ基含有化合物、(C)トリエチレングリコールジビニルエーテルなどの光酸発生感光剤、(D)1,8-ナフタリミジルトリフレートなどの増感剤および(E)溶剤からなる感光性樹脂組成物とそのポジ型パターン形成方法である。

請求項（抜粋）：

(A)次の一般式で示される繰返し単位をもつポリイミド前躯体、【化1】(但し、式中、R1 は、4価の芳香族基、複数の芳香族環が単結合された4価の有機基、又は複数の芳香族環が-O-、-CO-、-SO2 -、-CH2 -若しくは-C(CF3 )2 -で結合された4価の有機基であり、R2 は、2価の芳香族基、複数の芳香族環が単結合された2価の有機基、又は複数の芳香族環が-O-、-CO-、-SO2 -、-CH2 -若しくは-C(CF3 )2 -で結合された2価の有機基である。また、R3 ,R4 は、水素原子又はアセタール結合もしくはエステル結合をしたビニルオキシ基含有化合物の残基である。)(B)次の一般式で示される多官能ビニルオキシ基含有化合物、【化2】(但し、式中、R5 は、2価または3価の脂肪族基若しくは芳香族基、又は複数の脂肪族環若しくは芳香族環が単結合、-O-、-CO-、-SO2 -、-CH2 -、-NH-若しくは-C(CF3 )2 -で結合された2価または3価の有機基である。また、iは1〜3の整数、nは2〜3の整数である。)(C)紫外線等活性光線に対して分解して酸を発生する感光剤、(D)感光剤の分解を促進する増感剤および(E)溶剤からなることを特徴とするポジ型感光性樹脂組成物。

IPC (3件)：

G03F 7/027 514 ,  G03F 7/004 501 ,  H01L 21/027

FI (3件)：

G03F 7/027 514 ,  G03F 7/004 501 ,  H01L 21/30 502 R

Fターム (18件)：

2H025AA01 ,  2H025AA06 ,  2H025AA10 ,  2H025AA14 ,  2H025AB16 ,  2H025AC01 ,  2H025AD01 ,  2H025AD03 ,  2H025BC23 ,  2H025BC42 ,  2H025BC69 ,  2H025BE00 ,  2H025CA00 ,  2H025CB25 ,  2H025CC03 ,  2H025CC20 ,  2H025FA12 ,  2H025FA29