特許
J-GLOBAL ID：200903018732016254
感光性ポリイミド前駆体組成物
発明者：
,
,
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-117261
公開番号（公開出願番号）：特開平6-332178
出願日： 1993年05月19日
公開日（公表日）： 1994年12月02日
要約：
【要約】【構成】本発明は、ポリイミド前駆体、特定のウレア化合物またはウレタン化合物、光開始剤および/または増感剤および/または光反応性モノマを含有する感光性ポリイミド前駆体組成物である。【効果】本発明における感光性ポリイミド前駆体組成物は容易に製造でき、かつ、ポジ型、ネガ型ともに優れた機能を有するので有用である。さらに現像後、キュアすることにより、性能が優れたポリイミド被膜を得ることができる。
請求項（抜粋）：
(a)一般式(1)で表される構造単位を主成分とするポリマ(A)、【化1】(ただし、式中R1 は少なくとも2個の炭素原子を有する3価または4価の有機基、R2 は少なくとも2個の炭素原子を有する2価の有機基、R3 は水素、アルカリ金属イオン、アンモニウムイオンまたは炭素数1〜30の有機基を表す。nは1または2である。)(b)一般式(2)で表される化合物(B)、および【化2】(ただし、式中、Y1 、Y2 は、それぞれ-O-または-NH-基を示す。R4は水素または炭素数1〜10の低級アルキル基、R5 は置換または無置換の炭化水素基、R6 は置換または無置換の炭素数1〜10の炭化水素基を表す。)(c)光開始剤および/または増感剤および/または光反応性モノマを含有することを特徴とする感光性ポリイミド前駆体組成物。
IPC (6件)：
G03F 7/038 504
, C08K 5/16
, C08L 79/08 LRB
, G03F 7/004 515
, G03F 7/039
, H01L 21/027
出願人引用 (6件)
全件表示
審査官引用 (6件)
全件表示
前のページに戻る
