特許

J-GLOBAL ID：200903018739857017

表面処理装置用ノズル、表面処理装置およびこれを用いた表面処理方法

発明者： 桜木 俊一
出願人/特許権者： 株式会社小松製作所
代理人 (1件)： 木村 高久
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-206102
公開番号（公開出願番号）：特開平10-050622
出願日： 1996年08月05日
公開日（公表日）： 1998年02月20日
要約：

【要約】【課題】 大面積基板に対して、均一で信頼性の高い表面処理を実現する。【解決手段】 本発明の第1の特徴は、被処理基体の表面に反応性ガスを噴射することにより前記被処理基体の表面処理を行う表面処理装置用ノズルにおいて、幅方向に対して長さ方向が十分に長く、流路に沿った幅方向断面がすべて同一となるようなシート状流路を構成し、下流に向かうに従って、断面積が徐々に小さくなるように構成されたガス導入部と、前記ガス導入部に接続され、ノズル全体で最小の断面積をもつように構成されたスロート部と、前記スロート部に接続され、所定の広がり角をもって断面積が徐々に拡大せしめられるように構成されたガス噴射部とからなり、該ノズル内を通過するガスを断熱膨張せしめ、ガス噴射部から、前記処理室内に音速よりも大きい流速となるように加速し、反応性ガスの噴射面が長尺の線状をなすように噴射せしめられるように構成したことにある。

請求項（抜粋）：

被処理基体の表面に反応性ガスを噴射することにより前記被処理基体の表面処理を行う表面処理装置用ノズルにおいて、幅方向に対して長さ方向が十分に長く、流路に沿った幅方向断面がすべて同一なシート状流路を構成し、下流に向かうに従って、断面積が徐々に小さくなるように構成されたガス導入部と、前記ガス導入部に接続され、ノズル全体で最小の断面積をもつように構成されたスロート部と、前記スロート部に接続され、所定の広がり角をもって断面積が徐々に拡大せしめられるように構成されたガス噴射部とからなり、該ノズル内を通過するガスを断熱膨張せしめ、ガス噴射部から、前記処理室内に音速よりも大きい流速となるように加速し、反応性ガスの噴射面が長尺の線状をなすように、噴射せしめられることを特徴とする表面処理装置用ノズル。

IPC (2件)：

H01L 21/205 ,  H01L 21/3065

FI (2件)：

H01L 21/205 ,  H01L 21/302 B