特許

J-GLOBAL ID：200903018744591670

スパッタリング装置

発明者： 宮崎 篤
出願人/特許権者： 新明和工業株式会社
代理人 (1件)： 前田 弘 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-050656
公開番号（公開出願番号）：特開平5-255845
出願日： 1992年03月09日
公開日（公表日）： 1993年10月05日
要約：

【要約】【目的】 基板を保持する治具の速度変化データの制御手段への入力及び変更を容易にかつ迅速にする。【構成】 真空槽1内で基板11が保持された治具2を、駆動手段4により、ターゲット3に対して相対移動させる。この駆動手段を、治具の移動速度が移動方向で変化するように制御手段5により制御する。そして、治具の移動速度と、基板の各相対位置との関係を速度変化曲線によって表示するCRT18を制御手段に接続し、このCRTに速度変化曲線を作画入力するマウス19を接続する。制御手段は速度変化曲線を図形データとして読み込む。また、制御手段は複数の速度変化曲線を記憶、更新するメモリを備える。

請求項（抜粋）：

真空槽と、この真空槽内において基板を保持する治具と、この治具の基板取付面に相対向するように配設されたターゲットと、このターゲットに対して上記治具を相対移動させる駆動手段と、この駆動手段の駆動を、上記治具の移動速度が上記ターゲットに対する上記基板の各部位の相対位置によって変化するように制御する制御手段とを有し、上記基板が保持された治具を移動させながら上記基板に対してスパッタリングを行なうようにしたスパッタリング装置において、上記治具の移動速度と、上記基板の各部位の相対位置との関係を速度変化曲線によって表示するディスプレイ手段と、このディスプレイ手段に上記速度変化曲線を作画する図形入力手段とを備えており、上記制御手段は、上記速度変化曲線を記憶保持するとともに、この速度変化曲線に基づいて上記駆動手段の駆動を制御するように構成されていることを特徴とするスパッタリング装置。

IPC (2件)：

C23C 14/34 ,  C23C 14/54

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 特開平2-277770
  
• 特開平3-184120
  
• 特開平2-236704