特許
J-GLOBAL ID:200903018763932445
導電性酸化物およびそれを用いた電極
発明者:
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出願人/特許権者:
代理人 (1件):
塩澤 寿夫 (外1名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平7-101321
公開番号(公開出願番号):特開平8-295514
出願日: 1995年04月25日
公開日(公表日): 1996年11月12日
要約:
【要約】【目的】 光学的吸収端が400nmより短波長にあって、膜厚によらず透明な膜を提供でき、かつ良好な電気伝導率を有する新規な材料および電極の提供。【構成】 一般式Znx My Inz O(x+3y/2+3z/2)-d (式中、MはAl及びGaのうちの少なくとも1つの元素であり、比率(x:y)が1.8:1を超え8:1以下の範囲であり、比率(z:y)が0.4〜1.4:1の範囲であり、かつ酸素欠損量dが0を超え、(x+3y/2+3z/2) の1×10-1倍の範囲である)で表される導電性酸化物。前記一般式(但し、dの下限は0)で表され、かつZn、M及びInのうちの少なくとも1種の元素の一部が、他の元素で置換されており、Znと置換される元素は原子価が2価以上であり、M及びInと置換される元素は原子価が3価以上である導電性酸化物。前記一般式(但し、dの下限は0)で表される酸化物に、陽イオンを注入したものである導電性酸化物。前記酸化物の膜からなる電極およびその製造方法。
請求項(抜粋):
一般式Znx My Inz O(x+3y/2+3z/2)-d (式中、Mはアルミニウム及びガリウムのうちの少なくとも1つの元素であり、比率(x:y)が1.8:1を超え8:1以下の範囲であり、比率(z:y)が0.4〜1.4:1の範囲であり、かつ酸素欠損量dが0を超え、(x+3y/2+3z/2) の1×10-1倍の範囲である)で表されることを特徴とする導電性酸化物。
IPC (10件):
C01G 15/00
, C04B 35/453
, C23C 14/08
, G02F 1/1343
, G09F 9/30 335
, H01B 1/08
, C23C 14/24
, C23C 14/32
, C23C 14/34
, C23C 14/48
FI (11件):
C01G 15/00 B
, C01G 15/00 J
, C23C 14/08 K
, G02F 1/1343
, G09F 9/30 335 Z
, H01B 1/08
, C23C 14/24 R
, C23C 14/32 Z
, C23C 14/34 R
, C23C 14/48 Z
, C04B 35/00 P
引用特許: