磁気ヘッドおよびその製造方法

発明者：
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-070176
公開番号（公開出願番号）：特開平9-265616
出願日： 1996年03月26日
公開日（公表日）： 1997年10月07日
要約：

【要約】【課題】ハードディスクドライブやVTRなどに使用される磁気ヘッドの磁気特性と耐久性を両立させる。【解決手段】磁気ヘッドのディスクとの対向面に、シリコンを含むシランカップリング剤を塗布し、つづいて炭化水素ガスを導入したプラズマCVD法によりDLC膜を形成する。

請求項（抜粋）：

磁気ヘッドのメディア対向面に、シランカップリング剤を水和してなる分子を吸着させて形成した中間層と、該中間層上に形成されたDLC保護層を備えることを特徴とする磁気ヘッド。

IPC (4件)：

G11B 5/60 , G11B 5/31 , G11B 21/21 , G11B 21/21 101

FI (4件)：

G11B 5/60 B , G11B 5/31 D , G11B 21/21 G , G11B 21/21 101 K

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