特許

J-GLOBAL ID：200903018766290320

湿度センサ及びその製造方法

発明者： 国元 晃 ,  小野 敬
出願人/特許権者： 株式会社リケン
代理人 (1件)： 高石 橘馬
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-149903
公開番号（公開出願番号）：特開平5-322828
出願日： 1992年05月18日
公開日（公表日）： 1993年12月07日
要約：

【要約】【目的】 薄型で、良好な湿度検知を行うことができ、基板と、その上に形成された薄膜状の素子部との密着性が良好な湿度センサを提供する。【構成】 緻密で電気的絶縁性の高い基板15の一方の面上に微細なアルミナ突起を有する層18が形成されており、その上に、(a) 第一の薄膜状電極14a と、(b)アルカリ土類金属元素の酸化物の少なくとも一種を主成分とする第一の薄膜層12と、アルカリ土類金属元素、アルカリ金属元素系、及び貴金属元素以外の金属の酸化物を主成分とする第二の薄膜層11とが積層してなる感湿薄膜13と、(c) 第二の薄膜状電極14b とがその順に積層されているとともに、基板15の他方の面上に、(d) 薄膜状ヒータ16が形成されてなり、ヒータ16の作動により、常時200°C以上の高温状態に保持されて、湿度の検知を行う湿度センサ1である。

請求項（抜粋）：

緻密で電気的絶縁性の高い基板の一方の面上に微細なアルミナ突起が形成されており、その上に、(a) 第一の薄膜状電極と、(b) アルカリ土類金属元素の酸化物の少なくとも一種を主成分とする第一の薄膜層と、アルカリ土類金属元素、アルカリ金属元素系、及び貴金属元素以外の金属の酸化物を主成分とする第二の薄膜層とが積層してなる感湿薄膜と、(c) 第二の薄膜状電極とがその順に積層されているとともに、前記基板の他方の面上に、(d) 薄膜状ヒータが形成されてなる湿度センサであって、前記ヒータの作動により、常時200°C以上の高温状態に保持され、雰囲気中の湿度の変化に応じて前記感湿薄膜の抵抗値が変化することを特徴とする湿度センサ。