放射感応性混合物

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：佐藤一雄 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-159777
公開番号（公開出願番号）：特開平6-214387
出願日： 1992年06月18日
公開日（公表日）： 1994年08月05日
要約：

【要約】 (修正有)結合剤として、α、β-不飽和カルボン酸のアミドからなる単位を含む新規な重合体を含む放射感応性混合物本発明は、酸により開裂し得る側基を有する重合体結合剤および照射により強酸を形成する化合物を含む放射感応性混合物に、および結合剤として使用する重合体の合成原料となる、α、β-不飽和カルボン酸の新規なアミドに関する。さらに、本発明は、基材、およびその上に位置する、本発明に係わる放射感応性混合物を含むポジ型またはネガ型層からなる、ポジ型またはネガ型放射感応性記録材料に関する。

請求項（抜粋）：

下記式(II)で表わされる化合物であって、【化1】式中、R1 は酸により開裂し得る基であり、R2 は(C1 〜C4 )アルキル、ハロゲン(C1 〜C4 )アルキルまたは水素であり、R3,4,5,6 は、互いに独立して、所望によりハロゲン置換した、1〜20個の炭素原子を有する脂肪族、芳香脂肪族(araliphatic) または芳香族基、ハロゲン原子または水素であり、R7 は(C1 〜C4 )アルキルまたは水素である。

IPC (9件)：

G03F 7/027 514 , G03F 7/00 501 , G03F 7/004 503 , G03F 7/028 , G03F 7/033 , G03F 7/037 501 , G03F 7/038 504 , G03F 7/039 501 , H01L 21/027

引用特許：

出願人引用 (7件)

特開平2-231482
特開昭64-032255
特開昭62-038454

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審査官引用 (10件)

特開平2-231482
特開平2-231482
特開昭64-032255

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