特許
J-GLOBAL ID：200903018781705855
位置検出装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
工業技術院計量研究所長
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-028515
公開番号（公開出願番号）：特開平6-221853
出願日： 1993年01月25日
公開日（公表日）： 1994年08月12日
要約：
【要約】【目的】 簡便な構成の反射体の位置を、非接触かつ高速で検出する。【構成】 半導体レーザ10からの光が広がり角を持って一定の領域を照射しているとき、その照射された領域内に置かれた反射体35からの戻り光を集光レンズ40により光位置検出素子50上の一点に集光し、その出力を位置信号処理回路60により処理して反射体35の方位角を検出する。このとき反射体35からの光のみを集光するため、偏光ビームスプリッタ20、及び、4分の1波長板30によって特定の偏光方向の光のみを、また、単色フィルタ41によって特定の波長の光のみを選別する。
請求項（抜粋）：
光を照射できる光源と、前記光源からの光のうち特定の偏光成分の信号光を透過させる偏光ビームスプリッタと、前記偏光ビームスプリッタの透過軸から45 ゚傾いた異常分散軸を有し、前記信号光を透過させる4分の1波長板と、微小コーナーキューブプリズム等の配列からなる入射方向に光を集中的に反射する反射シートの一片からなる反射体と、前記反射体より反射した光が再び前記波長板を逆方向に透過し、前記偏光ビームスプリッタに再入射して反射された光を集光するレンズと、前記レンズにより集光された光の位置を検出する光位置検出素子とにより構成され、前記光位置検出素子が出力する光電信号により前記反射体の位置を検出することを特徴とする位置検出装置。
IPC (2件)：
引用特許：
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