特許
J-GLOBAL ID：200903018796432340
熱型赤外線センサ及び固体撮像装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
古谷 史旺 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-097240
公開番号（公開出願番号）：特開平10-288550
出願日： 1997年04月15日
公開日（公表日）： 1998年10月27日
要約：
【要約】【課題】 簡易な構造で、検出信号のS/N比を大きくすることができる熱型赤外線センサ及びこれを用いた固体撮像装置を提供する。【解決手段】 シリコン基板31の上面31Aに空隙Sを介して赤外線受光部30Aが形成され、該シリコン基板31の下面31Bが鏡面研磨されている。この下面31Bは、受光面として機能する。又、下面31Bには光学層37が形成され、この光学層37に、ロングパス・フィルタ、ショートパス・フィルタ、バンドパス・フィルタ、及び/又は反射防止膜としての機能を持たせる。
請求項（抜粋）：
半導体基板の上面に空隙を介して赤外線受光部が形成され、該半導体基板の下面が鏡面研磨され、該鏡面研磨された下面に反射防止膜が形成されていることを特徴とする熱型赤外線センサ。
IPC (2件)：
FI (2件)：
G01J 1/02 C
, G01J 5/02 B
