特許

J-GLOBAL ID：200903018801431919

圧電アクチュエータ

発明者： 宮崎 将哉 ,  芦沢 隆利
出願人/特許権者： 株式会社ニコン
代理人 (1件)： 鎌田 久男 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-201891
公開番号（公開出願番号）：特開平8-066066
出願日： 1994年08月26日
公開日（公表日）： 1996年03月08日
要約：

【要約】【目的】 移動速度及び移動方向を容易に制御することを可能とする。【構成】 非対称の駆動波形による慣性体13の慣性力が固定部材14-1と移動体11との静止摩擦力よりも大きいときに、移動体11が固定部材14-1上を間欠的に移動する圧電アクチュエータにおいて、移動部材11に加圧接触して、移動部材の移動速度を調節する速度調節部材として、一端が移動部材11に固定された電気機械変換素子15と、電気機械変換素子15の他端が加圧接触する支持部材14-2とを設けた。

請求項（抜粋）：

非対称の駆動波形を有する駆動信号を発生する駆動信号発生部と、前記駆動信号の入力により変形する電気-機械変換素子と、前記電気-機械変換素子の一端に接合され、その電気-機械変換素子の変形により慣性力を発生する慣性体と、前記電気-機械変換素子の他端に接合され、前記慣性体から慣性力を受ける移動体と、前記移動体を摺動可能に接触して、前記電気-機械変換素子と前記慣性体とは非接触である固定部材と、を含み、前記非対称の駆動波形による前記慣性体の慣性力が前記固定部材と前記移動体との静止摩擦力よりも大きいときに、前記移動体が前記固定部材上を間欠的に移動する圧電アクチュエータにおいて、前記移動部材に加圧接触して、前記移動部材の移動速度を調節する速度調節部材を設けたことを有することを特徴とする圧電アクチュエータ。