特許
J-GLOBAL ID:200903018804530284
加速度センサ
発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件):
岡田 全啓
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平4-118353
公開番号(公開出願番号):特開平5-288774
出願日: 1992年04月10日
公開日(公表日): 1993年11月02日
要約:
【要約】【目的】 微弱な加速度を正確に測定することができる加速度センサを得る。【構成】 加速度センサ10は、4角柱状の振動体12を含む。振動体12は、恒弾性金属材料で形成される。振動体12の対向する2つの側面には、圧電素子14,16が形成される。圧電素子14の圧電体14aは、電極14b側から電極14c側に向かって分極処理されている。同様に、圧電素子16の圧電体16aは、電極16b側から電極16c側に向かって分極処理される。振動体12の圧電素子が形成されていない側面には、その中央部に支持部材18が取り付けられる。振動体12の長さ方向の振動の共振周波数と屈曲振動の共振周波数とを一致させる。
請求項(抜粋):
その軸に対して回転対称な形状の多角柱状の振動体と、前記振動体の軸に対して回転対称となる複数の側面に形成される圧電素子とを含み、前記圧電素子の分極方向を前記振動体の軸からみて同じ向きとなるようにした、加速度センサ。
IPC (4件):
G01P 15/14
, G01C 19/56
, G01P 9/04
, G01P 15/09
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