特許
J-GLOBAL ID：200903018809046682

3次元形状測定器

発明者：
鈴木 敏

鈴木 敏 について

, 
鈴木 健吾

鈴木 健吾 について

, 
高林 正樹

高林 正樹 について


出願人/特許権者：
ヘキサゴン・メトロジー株式会社

ヘキサゴン・メトロジー株式会社 について


代理人 (2件)： 朝比 一夫 ,  増田 達哉
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2008-001500
公開番号（公開出願番号）：特開2009-162659
出願日： 2008年01月08日
公開日（公表日）： 2009年07月23日
要約：
【課題】レーザ光の照射位置における戻り光の正確な光量による計測が可能な形状測定装置を有する3次元形状測定器を提供すること。【解決手段】レーザダイオード2と、第1光学系と、照射位置移動手段と、エンコーダ6aと、第2光学系と、CCDラインセンサ部13と、入射光量測定手段とを有し、検知手段から出力された検知信号により所定時間の間隔を有する複数のタイミング信号が生成され、タイミング信号によってCCDのリセットタイミングが制御されており、一のタイミング信号後に確認用レーザ光をレーザダイオード2から照射し、確認用レーザ光の光量を入射光量測定手段により測定し、入射光量測定手段により測定された確認用レーザ光の光量から測定用レーザ光の発光量が決定される。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
レーザ光を出射するレーザダイオードと、 前記レーザダイオードから出射されたレーザ光を測定対象物の表面へ照射するための第1光学系と、 前記レーザダイオードから出射されたレーザ光の照射位置を移動させるための照射位置移動手段と、 前記照射位置移動手段の移動状態を検知する検知手段と、 測定対象物の表面からの反射光であるレーザ光を結像されるための第2光学系と、 前記第2光学系からのレーザ光の結像位置を検出するためのCCDラインセンサ部と、 前記第2光学系に設けられると共に、前記CCDラインセンサ部への入射光の光量を測定する入射光量測定手段とを有し、 前記検知手段から出力された検知信号により所定時間の間隔を有する複数のタイミング信号が生成され、前記タイミング信号によって前記CCDラインセンサ部のCCDのリセットタイミングが制御されており、 前記一のタイミング信号後に、確認用レーザ光を前記レーザダイオードから前記所定時間よりも短い時間照射し、 前記確認用レーザ光の光量を前記入射光量測定手段により測定し、 前記入射光量測定手段により測定された前記確認用レーザ光の光量から、前記レーザダイオードが照射する測定用レーザ光の発光量が決定されることを特徴とする3次元形状測定器。
IPC (2件)：
G01C 3/06 ,  G01B 11/24
FI (3件)：
G01C3/06 110A ,  G01B11/24 A ,  G01C3/06 140
Fターム (63件)：
2F065AA04 ,  2F065AA19 ,  2F065AA53 ,  2F065BB05 ,  2F065DD04 ,  2F065FF09 ,  2F065FF17 ,  2F065FF44 ,  2F065FF65 ,  2F065GG06 ,  2F065JJ02 ,  2F065JJ18 ,  2F065JJ25 ,  2F065LL00 ,  2F065LL09 ,  2F065LL13 ,  2F065LL22 ,  2F065MM28 ,  2F065NN02 ,  2F065NN16 ,  2F065QQ01 ,  2F065QQ03 ,  2F112AA06 ,  2F112AA08 ,  2F112BA03 ,  2F112BA06 ,  2F112BA07 ,  2F112CA08 ,  2F112DA09 ,  2F112DA15 ,  2F112DA25 ,  2F112DA28 ,  2F112EA05 ,  2F112EA09 ,  2F112EA11 ,  2F112FA07 ,  2F112FA45 ,  2F112GA01 ,  5J084AA13 ,  5J084AD07 ,  5J084BA04 ,  5J084BA11 ,  5J084BA12 ,  5J084BA14 ,  5J084BA36 ,  5J084BA39 ,  5J084BA49 ,  5J084BA52 ,  5J084BB02 ,  5J084BB20 ,  5J084BB28 ,  5J084CA03 ,  5J084CA11 ,  5J084CA12 ,  5J084CA19 ,  5J084CA23 ,  5J084CA67 ,  5J084CA70 ,  5J084DA01 ,  5J084DA08 ,  5J084DA09 ,  5J084EA01 ,  5J084EA07
引用特許：
出願人引用 (1件)
  • 特許第3554264号公報
審査官引用 (9件)
  • 表面形状測定装置
    公報種別：公開公報   出願番号：特願平7-181471   出願人：株式会社東海理化電機製作所
  • 照明方法および照明装置
    公報種別：公開公報   出願番号：特願平8-187854   出願人：日本電信電話株式会社
  • 測距装置
    公報種別：公開公報   出願番号：特願2004-348737   出願人：日本電産コパル株式会社
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