特許
J-GLOBAL ID：200903018810525110
インジェクティングデバイス及びその製造方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
亀谷 美明 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-289585
公開番号（公開出願番号）：特開平11-227207
出願日： 1998年10月12日
公開日（公表日）： 1999年08月24日
要約：
【要約】【課題】 例えばプリントヘッドの全体的なプリンティング性能の顕著な向上をはかれるマイクロインジェクティングデバイス及びその製造方法を提供する。【解決手段】保護膜2が形成された基板1と,保護膜2上に形成される加熱層11と,加熱層11に接触して電気的な信号を伝達する電極層3と,加熱層11と接触する加熱チャンバ4を定義するため前記電極層上に形成される加熱チャンババリヤ5層と,加熱チャンババリヤ層5上に形成されて加熱チャンバ4に充填された溶液の体積変化によって伸縮されて振動する振動膜25と,振動膜25と接触するインクチャンバ9を定義するため前記振動膜25上に形成されるインクチャンババリヤ層7と,インクチャンバ9と接触するノズル10を定義するためインクチャンババリヤ層7上に形成されるノズルプレート8とを含み,振動膜25は,加熱チャンバ9の縁部に対応して前記振動チャンバ側表面に凹部が形成された第1伸縮膜24と,凹部内に形成されて第1伸縮膜にかかる応力を分散する第2伸縮膜23からなる。
請求項（抜粋）：
保護膜が形成された基板と;前記保護膜上に形成される加熱層と;前記加熱層に電気的に接続される電極層と;前記加熱層と接触する加熱チャンバを形作るために前記電極層上に形成される加熱チャンババリヤ層と;前記加熱チャンババリヤ層上に形成されて前記加熱チャンバに充填された溶液の体積変化によって伸縮し振動する振動膜と;前記振動膜と接触するインクチャンバを形作るために前記振動膜上に形成されるインクチャンババリヤ層と;前記インクチャンバと接触するノズルを形作るために前記インクチャンババリヤ層上に形成されるノズルプレートと;を含み;前記振動膜は,前記加熱チャンバの縁部に対応して前記振動チャンバ側表面に凹部が形成された第1伸縮膜と,前記凹部内に形成されて前記第1伸縮膜にかかる応力を分散する第2伸縮膜と,を有することを特徴とする,インジェクティングデバイス。
IPC (3件)：
B41J 2/05
, B41J 2/16
, B05B 1/30
B41J 3/04 103 B
, B05B 1/30
, B41J 3/04 103 H
