特許
J-GLOBAL ID：200903018826473080
真空ポンプ装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
橋本 克彦 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-256537
公開番号（公開出願番号）：特開平7-091367
出願日： 1993年09月20日
公開日（公表日）： 1995年04月04日
要約：
【要約】【目的】 往復形真空ポンプの動作安定化、小形化、性能向上を計る。【構成】 二つのシリンダ2,6のピストン3,7を揺動腕13に係合した一本のピストンロッド10で同時に同方向へ駆動させ安定した動作でポンプ作用を行なわせ、且つ四つの室を全てポンプ室4,5,8,9とし小形で大きなピストン行程容積を得るようにした。更に吸込、吐出が同時に各二つのポンプ室4,9と5,8とを二つの主通路22,26に吸込逆止弁23,27と吐出逆止弁24,28との間でそれぞれ接続し構成を簡単化した。
請求項（抜粋）：
同一中心軸線上に配置された二つのシリンダと、前記各シリンダにそれぞれ気密に嵌装されたピストンと、前記二つのピストンを互いに連結した一本のピストンロッドと、前記ピストンロッドに係合し駆動軸の回転に伴い振動して前記二つのピストンを同時に同方向へ駆動する揺動腕と、前記二つのシリンダの前記ピストンによって区画された各二つのポンプ室のそれぞれに接続された吸込、吐出のための通路および気体を所定方向へ送るため前記通路に設けられた逆止弁とを具えたことを特徴とする真空ポンプ装置。
IPC (2件)：
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