特許
J-GLOBAL ID：200903018826634806
電子デバイス,その製造方法,カメラ及び車両
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
前田 弘 (外7名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-203178
公開番号（公開出願番号）：特開2003-017672
出願日： 2001年07月04日
公開日（公表日）： 2003年01月17日
要約：
【要約】【課題】 既存の電子デバイスの製造プロセスを利用して、赤外線センサ,可視光センサを備えた電子デバイス,カメラ,車両,その製造方法などを提供する。【解決手段】 キャップ用ウェハ150の上にAl膜151を形成し、Al膜151をパターニングして環状膜144を形成する。環状膜144をマスクとしてドライエッチングを行なって、赤外線センサ用の真空ドームとなる凹部を囲む筒部142と可視光センサ用の筒部142aを形成する。一方、可視光センサ,赤外線センサが設けられた本体ウエハ100の上面には、赤外線センサ用の環状接合部のみにAlからなる環状膜118を形成する。そして、キャップ用ウェハ150の環状膜144と本体ウェハ100の環状膜118とを圧着により接合させると、可視光センサのみにキャップ体が形成される。
請求項（抜粋）：
少なくとも1つの熱電変換素子を有する赤外線センサが配置された第1のセル領域と、少なくとも1つの光電変換素子を有する可視光センサが配置された第2のセル領域とを有する本体基板と、上記第1のセル領域の上記熱電変換素子が配置された部位に設けられ、上記本体基板とキャップ体とに囲まれて減圧雰囲気に保持された空洞部と、上記空洞部を減圧雰囲気に保持するための環状接合部とを備えている電子デバイス。
Fターム (9件)：
4M118AB01
, 4M118BA06
, 4M118CA05
, 4M118CB01
, 4M118CB12
, 4M118FA05
, 4M118FA06
, 4M118GB11
, 4M118HA24
