特許
J-GLOBAL ID：200903018829353999
マスフローコントローラ
発明者：
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出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-360119
公開番号（公開出願番号）：特開平11-194833
出願日： 1997年12月26日
公開日（公表日）： 1999年07月21日
要約：
【要約】【課題】 流量制御の精度や応答性、シール性能を向上させることで、全開流量を増大させ応答時間を早くしたマスフローコントローラを提供する。【解決手段】 センサ流路内を流れる流体の流量を検出する流量センサ部2と、流体の流量を制御する流量制御弁6と、制御回路部3とを有するマスフローコントローラにおいて、前記流量制御弁6は、流入側流路12および流出側流路13を有する流量制御弁本体と、前記流入側流路端に設けた弁座4と、この弁座に接離する平坦部を有した金属ダイアフラム5と、この金属ダイアフラム5の上部に位置し弁座側に押圧力を発生させるアクチュエータ60と、からなり、前記アクチュエータ60の下部に金属ダイアフラム5を押圧するダイアフラムスペーサ61を設け、前記弁座4と金属ダイアフラム5との接触面を除くダイアフラムスペーサ61の押圧面に凹部61aを設けたマスフローコントローラである。
請求項（抜粋）：
センサ流路内を流れる流体の流量を検出する流量センサ部と、流体の流量を制御する流量制御弁と、制御回路部とを有するマスフローコントローラにおいて、前記流量制御弁は、流入側流路および流出側流路を有する流量制御弁本体と、前記流入側流路端に設けた弁座と、この弁座に接離する平坦部を有した金属製ダイアフラムと、この金属製ダイアフラムの上部に位置し、弁座側に押圧力を発生させるアクチュエータと、からなり、前記アクチュエータの下部に前記金属製ダイアフラムを押圧するダイアフラムスペーサを設け、前記弁座と金属製ダイアフラムとの接触面を除くダイアフラムスペーサの押圧面に凹部を設けたことを特徴とするマスフローコントローラ。
IPC (4件)：
G05D 7/06
, F16K 1/52
, F16K 31/02
, F16K 31/128
G05D 7/06 Z
, F16K 1/52 A
, F16K 31/02 A
, F16K 31/128
