特許
J-GLOBAL ID：200903018835860169
薄膜コンデンサ
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
三好 秀和 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-239400
公開番号（公開出願番号）：特開平6-089831
出願日： 1992年09月08日
公開日（公表日）： 1994年03月29日
要約：
【要約】【目的】 容量の大きさを制御しやすく、かつリーク電流を小さくし得る薄膜コンデンサを提供することを目的とする。【構成】 高誘電率薄膜と、この高誘電率薄膜を介して形成された下部電極および上部電極を具備した薄膜コンデンサであって、前記上部電極はその下部電極上への投影面が下部電極に完全に包含される形状を有するとともに、前記上部電極上に形成された絶縁膜とこの絶縁膜に開口された孔から引き出され、かつ上部電極との接続部が上部電極に完全に包含される上部電極引き出し部を備えることを特徴とする。【効果】 精度良く所望の容量を得ることができ、かつリーク電流を小さくすることができる。
請求項（抜粋）：
高誘電率薄膜と、この高誘電率薄膜を介して形成された下部電極および上部電極を具備した薄膜コンデンサであって、前記上部電極はその下部電極上への投影面が下部電極に完全に包含される形状を有するとともに、前記上部電極上に形成された絶縁膜とこの絶縁膜に開口された孔から引き出され、かつ上部電極との接続部が上部電極に完全に包含される上部電極引き出し部を備えることを特徴とした薄膜コンデンサ。
IPC (2件)：
H01G 4/06 102
, H01L 27/04
