特許
J-GLOBAL ID：200903018836063980
物性情報測定装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
林 敬之助
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-348584
公開番号（公開出願番号）：特開平6-201373
出願日： 1992年12月28日
公開日（公表日）： 1994年07月19日
要約：
【要約】【目的】 AFMの応用で試料表面の電位分布、および誘電率の分布をナノメーターオーダで測定する。【構成】 従来のAFM装置の探針に導電性の物を使用し、発振器より試料と探針の間に交流電圧を印加し、探針を強制振動させ、この信号を離散的フーリエ変換を用いたアナログ演算系で検出する。【効果】 従来の装置より高速約1/10の時間で表面電位及び誘電率の分布がナノメータの分解能で求まる。
請求項（抜粋）：
試料台に配置された試料と、前記試料に対向して設けられ鋭い導電性の探針が先端についた弾性的レバーと、前記レバーに正弦波電圧を印加する発振器と、前記レバーの変位又は振幅を検出する変位検出手段と、この変位又はレバーの振動振幅を一定に制御するサーボ系及びピエゾアクチュエータと、上記レバーを試料面と垂直方向に正弦波状に強制振動させる手段と、前記ピエゾアクチュエータ上に固定された導電体又は半導体又は薄膜試料と探針の間に直流電圧を与える手段と、レバーの振動振幅を離散的フーリエ変換を用いたアナログ演算器にて測定し、試料表面の表面電位及び誘電率の分布を演算する演算手段とから成ることを特徴とする物性情報測定装置。
IPC (2件)：
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