特許
J-GLOBAL ID：200903018837311359

微細金属球の製造方法並びに微細金属球製造装置

発明者：
佐藤 光司

佐藤 光司 について


出願人/特許権者：
日立金属株式会社

日立金属株式会社 について


公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-036282
公開番号（公開出願番号）：特開2001-226705
出願日： 2000年02月15日
公開日（公表日）： 2001年08月21日
要約：
【要約】【課題】 本発明は、半導体装置などにおけるマイクロソルダリングに用いられるはんだボールや、HIP成形などによる焼結合金製造の為の金属粉または合金粉、マイクロマシンに用いられる微細ボールベアリング、ハロゲン化金属ランプの封印発光粒子、スクリーン印刷用や浸漬塗布、その他の一般塗布機用のペースト、クリームあるいはペイント等、粒度分布が狭く真球度の高いものが要求される微細金属球の製造方法とそれに適する製造装置を提供することを目的とする。【解決手段】 本発明は、るつぼ内の溶湯に圧力と振動を付与して、前記るつぼの底部に設けたオリフィスから溶湯を押し出し、前記オリフィスから滴下した溶湯を0.01〜0.3MPaに加圧したチャンバー内でガス雰囲気中で冷却して凝固させて直径1000μm以下にする微細金属球の製造方法、並びにこの製造方法に好適な製造装置である。
請求項（抜粋）：
るつぼ内の溶湯に圧力と振動を付与して、前記るつぼの底部に設けたオリフィスから溶湯を押し出し、前記オリフィスから滴下した溶湯をゲージ圧で0.01〜0.3MPaに加圧したチャンバー内のガス雰囲気中で冷却して凝固させ直径1000μm以下にする微細金属球の製造方法。
Fターム (14件)：
4K017BA01 ,  4K017CA01 ,  4K017CA07 ,  4K017DA01 ,  4K017DA07 ,  4K017DA09 ,  4K017EB01 ,  4K017EB03 ,  4K017EB21 ,  4K017EC04 ,  4K017FA03 ,  4K017FA11 ,  4K017FA22 ,  4K017FA27
引用特許：
審査官引用 (6件)
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