特許
J-GLOBAL ID：200903018838740377

表面層厚さ測定装置

発明者：
永島 良昭

永島 良昭 について

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渡辺 敦志

渡辺 敦志 について

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高橋 文信

高橋 文信 について

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川又 啓人

川又 啓人 について


出願人/特許権者：
株式会社日立製作所

株式会社日立製作所 について


代理人 (1件)： 武 顕次郎
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-194525
公開番号（公開出願番号）：特開2000-028582
出願日： 1998年07月09日
公開日（公表日）： 2000年01月28日
要約：
【要約】【課題】 物体表面に形成された2層構造の表面層の厚さを、非破壊で、且つ個々独立に測定できるようにした装置を提供すること。【解決手段】 測定対象物Wの表面に接触させたコイル1に、渦電流励振部2から周波数fの交流電圧を印加し、このときのコイル1の基準化インピーダンスから、予め求めたインピーダンス平面上の基準線までの距離dを算出する。次に、予め求めてある酸化層WO の厚さT1と距離dの相関関係を参照し、距離dに基づいて酸化層厚さT1 に変換する。次に、超音波送受信部5により超音波送信器3を駆動して、測定対象物Wの表面に表面波Sを発生させ、超音波受信器4で受信し、受信信号を超音波送受信部5で増幅してからデジタイザ7でデジタル信号に変換し、層厚さ演算部9で音速変化率を算出する。そして、予め求めてある酸化層厚さT1 及び窒化層WN の厚さT2 と音速変化率の相関関係を参照し、音速変化率に基づいて窒化層厚さT2 を算出するのである。
請求項（抜粋）：
導電性の物体の表面に存在する表面層の厚さを非破壊で測定する表面層厚さ測定装置において、測定用のコイルを前記物体の表面に接触させたとき、該コイルの特性により定義されるインピーダンス平面に現われる該コイルのインピーダンスの変化量に基づいて、第1の特徴量を演算する手段と、予め算定しておいた、前記表面層の表面側に存在する第1の層の物理的性質と前記第1の特徴量との相関関係を表す第1のデータを保持する手段と、前記物体の表面における表面弾性波の伝播速度から第2特徴量を演算する手段と、予め算定しておいた、前記表面層の内側に存在する第2の層の厚さと前記第1の層の厚さ及び前記第2の特徴量の3種の量の相関関係を表す第2のデータを保持する手段とを設け、前記第1の特徴量により、前記第1のデータを参照して、前記第1の層の厚さを算出し、前記第2の特徴量により、前記第2のデータを参照して、前記第2の層の厚さを算出するように構成したことを特徴とする表面層厚さ測定装置。
IPC (4件)：
G01N 27/72 ,  G01B 7/06 ,  G01B 17/02 ,  G01N 29/18
FI (4件)：
G01N 27/72 ,  G01B 7/06 Z ,  G01B 17/02 Z ,  G01N 29/18
Fターム (54件)：
2F063AA16 ,  2F063BB02 ,  2F063BC09 ,  2F063BC10 ,  2F063CA40 ,  2F063DB04 ,  2F063DD08 ,  2F063GA05 ,  2F063JA01 ,  2F063LA18 ,  2F063LA19 ,  2F063LA27 ,  2F063LA30 ,  2F068AA28 ,  2F068BB15 ,  2F068BB22 ,  2F068DD04 ,  2F068FF02 ,  2F068FF25 ,  2F068GG01 ,  2F068HH03 ,  2F068JJ12 ,  2F068LL02 ,  2F068QQ05 ,  2F068QQ10 ,  2F068QQ15 ,  2F068QQ18 ,  2F068QQ34 ,  2F068TT01 ,  2G047AA06 ,  2G047AB05 ,  2G047AC06 ,  2G047BA01 ,  2G047BC02 ,  2G047BC18 ,  2G047CA01 ,  2G047CB03 ,  2G047EA10 ,  2G047GA20 ,  2G047GG27 ,  2G047GG36 ,  2G053AA24 ,  2G053AB21 ,  2G053AB26 ,  2G053BA19 ,  2G053BA24 ,  2G053BC02 ,  2G053BC14 ,  2G053CA03 ,  2G053CA17 ,  2G053CB13 ,  2G053CB24 ,  2G053DA01 ,  2G053DB05
引用特許：
出願人引用 (3件) 審査官引用 (3件)

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