コンベア炉

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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：宮田金雄 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-188888
公開番号（公開出願番号）：特開2001-015447
出願日： 1999年07月02日
公開日（公表日）： 2001年01月19日
要約：

【要約】【課題】従来のコンベア炉は、基板出入口で発生する溶剤ガスの結露による基板と装置への滴下が問題であった。【解決手段】チャンバー2に基板10を供給して、基板10上に付着させた付着物を乾燥又は焼結させるコンベア炉1において、チャンバー2の基板出入口3,4に設けられたエアーカーテン18,19と、エアーカーテン18,19のエアーを加熱するエアー加熱部20とを備えることを特徴とする。

請求項（抜粋）：

チャンバーに基板を供給して、前記基板上に付着させた付着物を乾燥又は焼成させるコンベア炉において、前記チャンバーの基板出入口に設けられたエアーカーテンと、前記エアーカーテンのエアーを加熱するエアー加熱部とを備えることを特徴とするコンベア炉。

IPC (6件)：

H01L 21/26 , B23K 1/00 330 , B23K 1/008 , F27B 9/10 , F27D 7/06 , H05K 3/34 507

FI (6件)：

H01L 21/26 G , B23K 1/00 330 E , B23K 1/008 C , F27B 9/10 , F27D 7/06 B , H05K 3/34 507 H

Fターム (22件)：

4K050AA01 , 4K050AA02 , 4K050AA05 , 4K050BA16 , 4K050BA17 , 4K050CC07 , 4K050CD17 , 4K050CD21 , 4K050CG08 , 4K063AA05 , 4K063AA09 , 4K063AA12 , 4K063AA15 , 4K063BA12 , 4K063CA02 , 4K063CA03 , 4K063DA23 , 5E319BB05 , 5E319CD22 , 5E319CD23 , 5E319CD35 , 5E319GG07

引用特許：

審査官引用 (2件)

特開昭64-057089
特開昭64-057089

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