特許
J-GLOBAL ID：200903018844107864
ガスセンサ素子の製造方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
高橋 祥泰 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-148304
公開番号（公開出願番号）：特開2002-340843
出願日： 2001年05月17日
公開日（公表日）： 2002年11月27日
要約：
【要約】【課題】 耐久性に優れたガスセンサ素子の製造方法を提供すること。【解決手段】 固体電解質板13用生シートに電極形成用の印刷部を,ヒータ基板15用生シートに発熱体150用の印刷部をそれぞれ設け,スペーサー板14用生シートに溝加工を施して,基準ガス室10となる閉塞端102と開放端101とを備えた溝部をプレス金型を用いたプレス加工で形成し,スペーサー板14用生シートをセットする際は離型シートとして多孔質シートを用い,ヒータ基板15用生シートにスペーサー板14用生シートを積層し,固体電解質板13用生シートを積層し,接着剤にて貼り合わせて未焼積層体となし,その後,未焼積層体を焼成する。
請求項（抜粋）：
被測定ガスに接する被測定ガス側電極と基準ガスに接する基準ガス側電極とを備えた固体電解質板と,上記基準ガス側電極と対面し,一端が閉塞端で,他端がガスセンサ素子の外部に対して開口した開口端として構成された溝状であり,基準ガスを導入するよう構成された基準ガス室を備えたスペーサー板と,通電により発熱する発熱体を備えたヒータ基板とが積層されてなるガスセンサ素子を製造するにあたり,固体電解質板用生シート,スペーサー板用生シート,ヒータ基板用生シートをそれぞれ準備し,固体電解質板用生シートに電極形成用の印刷部を,ヒータ基板用生シートに発熱体用の印刷部をそれぞれ設け,スペーサー板用生シートに溝加工を施して,基準ガス室となる閉塞端と開放端とを備えた溝部をプレス金型を用いたプレス加工で形成し,かつ上記プレス金型にスペーサー板用生シートをセットする際は離型シートとして多孔質シートを用い,ヒータ基板用生シートにスペーサー板用生シートを積層し,これらに対し更に固体電解質板用生シートを積層し,接着剤にて貼り合わせて未焼積層体となし,その後,未焼積層体を焼成することを特徴とするガスセンサ素子の製造方法。
Fターム (12件)：
2G004BB04
, 2G004BC02
, 2G004BC07
, 2G004BD04
, 2G004BE02
, 2G004BE04
, 2G004BF18
, 2G004BF27
, 2G004BG05
, 2G004BH09
, 2G004BJ03
, 2G004BM07
