特許
J-GLOBAL ID:200903018864729110

研磨装置

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 杉浦 俊貴 (外1名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平5-279473
公開番号(公開出願番号):特開平7-132453
出願日: 1993年11月09日
公開日(公表日): 1995年05月23日
要約:
【要約】【目的】 研磨効率の向上と研磨ベルトの長寿命化とを図り、研磨ベルトの無駄をなくす研磨装置を得る。【構成】 固定の下部フレーム2に被研磨材を載置して搬送するベルトコンベア5を設け、この下部フレーム2に対して昇降動可能に設けられる上部フレーム3に、複数個のローラ27,29,32,33,31に懸け渡されて回転する研磨ベルト34を設ける。そして、この研磨ベルト34を、ベルト基材と、そのベルト基材の表面に互いに重畳するように取り付けられ表面に研磨砥粒が付着形成されてなる多数の短冊状研磨体からなるものとする。また、上部フレーム2には、張力調整機構28,ベルト蛇行機構30,研磨厚さ調整機構35,被研磨材押圧機構36等を設ける。
請求項(抜粋):
被研磨材を載置して搬送する搬送手段を有する下部フレームと、この下部フレームに対して昇降動可能に設けられる上部フレームと、この上部フレームに支持される複数個のローラに懸け渡されて回転されるとともに、前記搬送手段の搬送面に略平行な研磨部を有する無端状の研磨ベルトとを備え、この研磨ベルトが、ベルト基材と、そのベルト基材の表面に互いに重畳するように取り付けられ表面に研磨砥粒が付着形成されてなる多数の短冊状研磨体とからなることを特徴とする研磨装置。
IPC (6件):
B24B 21/12 ,  B24B 21/18 ,  B24B 21/20 ,  B24B 21/22 ,  B24D 11/06 ,  B24D 13/06

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