特許
J-GLOBAL ID：200903018866407128
振動センサ
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
中野 雅房
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-306563
公開番号（公開出願番号）：特開平5-119055
出願日： 1991年10月24日
公開日（公表日）： 1993年05月14日
要約：
【要約】【目的】 振動センサを被検出物から取り外したり振動試験器等で外部から振動を加えたりすることなく、簡単に振動センサの診断ができるようにする。【構成】 自己診断機能付き振動センサAが正常に動作するかどうか診断するときには、交流信号源8により診断用電極5と共通電極3の間に交流電圧を印加し、逆圧電効果により圧電素子1に電気的歪を生じさせる。同時に、この歪によって検出用電極4と共通電極3の間に圧電効果による電圧が発生するので、この電圧信号を検出回路6により所望の電気信号に変換して出力端子7から出力させる。そして、この電気信号を評価することにより、例えば圧電素子1が劣化しているかどうかを診断する。
請求項（抜粋）：
圧電素子を用いて振動を電気信号に変換する振動センサにおいて、圧電素子が少なくとも3個の電極を有し、そのうちの少なくとも2個の電極が圧電素子から出力される信号を検出する回路に接続され、別な少なくとも2個の電極が圧電素子に歪を生じさせるための信号発生源に接続されていることを特徴とする振動センサ。
IPC (2件)：
引用特許：
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