特許

J-GLOBAL ID：200903018871994228

静電吸着装置

発明者： 笠原 敬次
出願人/特許権者： 株式会社アビサレ
代理人 (1件)： 杉浦 俊貴 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-049611
公開番号（公開出願番号）：特開平6-225556
出願日： 1993年03月10日
公開日（公表日）： 1994年08月12日
要約：

【要約】【目的】 静電吸着装置において長時間の吸着を行っても吸着層の劣化が生じないようにする。【構成】 層状の誘電体から成る吸着層2の表面に被覆層5を設け、また吸着層2の裏面に正負一対の櫛歯状電極3を積層状に設けるとともに、この被覆層5の表面にクーロン力により紙シート等の被吸着物を吸着保持する構成とする。被覆層5は、二軸延伸ポリエステル等の酸素透過率および水蒸気透過率がともに低いプラスチックスにより形成し、体積抵抗率を1010Ωcm以上とし、厚さを5〜50μとする。

請求項（抜粋）：

(a)層状の誘電体から成る吸着層、(b)この吸着層の一面側にその一面側を被覆するように設けられるとともに、水分浸透性が小さくかつ酸素バリア特性を有する被覆層および(c)前記吸着層の他面側に互いに電気的に分離して積層状に設けられるとともに、この吸着層において分極電荷を誘起させる電界を生じさせる少なくとも一対の電極を具えて、前記吸着層の一面側に前記被覆層を介して配される被吸着物をクーロン力により吸着することを特徴とする静電吸着装置。

IPC (2件)：

H02N 13/00 ,  G09F 7/18

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 特開昭56-155759
  
• 特開平2-027748
  
• 特開平2-142373