特許
J-GLOBAL ID：200903018878345799
ト-リック面形状測定装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
高梨 幸雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-340207
公開番号（公開出願番号）：特開平5-196433
出願日： 1991年11月29日
公開日（公表日）： 1993年08月06日
要約：
【要約】【目的】 種々の形状を持つト-リック面の形状測定を容易に行うことのできるトーリック面形状測定装置を得ること。【構成】 光源から導かれた平面波を波面変換手段により被検物体面にほぼ垂直に入射する基準波面に変換して被検物体に入射し、被検物体面からの反射光を再び波面変換手段を逆方向から通して平面波に再変換し、予め光源から分割して作成した参照波面と統合して干渉縞の形で測定を行う際、波面変換手段を2つの部分より構成し、第1の波面変換手段で入射する平行光を第1の方向にほぼ無収差に収束するシリンドリカル波に変換し、第2の波面変換手段で第1の波面変換手段によって収束作用を受けなかった方向に対して収束作用を持つように波面を変換するとともに、第1及び第2の波面変換手段相互の距離が可変的に調整できるようにしたこと。
請求項（抜粋）：
被検物体であるト-リック面の面形状の測定で、光源から導かれた平面波を波面変換手段により該被検物体面にほぼ垂直に入射する基準波面に変換して入射し、該被検物体面からの反射光を再び前記波面変換手段を逆方向から通して平面波に再変換するとともに、予め前記光源から分割して作成しておいた参照波面と統合し、干渉縞の形で測定を行う際、前記波面変換手段を第1及び第2のアナモルフィックな波面変換手段より構成し、該2つの波面変換手段相互の距離を可変的に調整して、任意のト-リック面の形状を測定することを特徴としたトーリック面形状測定装置。
IPC (2件)：
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