特許
J-GLOBAL ID:200903018882311360

感光性組成物

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 市之瀬 宮夫
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平4-353005
公開番号(公開出願番号):特開平6-180500
出願日: 1992年12月11日
公開日(公表日): 1994年06月28日
要約:
【要約】【目的】 高い感度を有し、良好な現像ラチチュードを示し、かつ優れた耐薬品性を与える。【構成】 ヒドロキシフェニル化合物の1,2-ナフトキノン-2-ジアジド-4-スルホン酸エステル及びピロガロールアセトン樹脂の1,2-ナフトキノン-2-ジアジド-5-スルホン酸エステルを含み、かつ上記ヒドロキシフェニル化合物の分子量が 500以下であることを特徴とする。
請求項(抜粋):
ヒドロキシフェニル化合物の1,2-ナフトキノン-2-ジアジド-4-スルホン酸エステル及びピロガロールアセトン樹脂の1,2-ナフトキノン-2-ジアジド-5-スルホン酸エステルを含み、かつ上記ヒドロキシフェニル化合物の分子量が 500以下であることを特徴とする感光性組成物。
IPC (3件):
G03F 7/023 501 ,  G03F 7/00 503 ,  G03F 7/022

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