特許

J-GLOBAL ID：200903018885450158

弾性表面波アクチュエータ

発明者： 松井 義和 ,  塩川 祥子
出願人/特許権者： 松井 義和 ,  塩川 祥子
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-169396
公開番号（公開出願番号）：特開平10-327590
出願日： 1997年05月22日
公開日（公表日）： 1998年12月08日
要約：

【要約】【目的】 弾性表面波を用いて、構造が簡単で、超小型、高効率で、用途の広い、アクチュエータを実現する。【構成】 レーリーモード弾性表面波アクチュエータであって、圧電基板の表面上にレーリーモード弾性表面波を励振する対電極を設け、この対電極に交流電気信号を与える駆動電源を設ける。レーリーモード弾性表面波の伝搬面上に液滴を載せ、この液滴の上に移動物体を載せてなる。

請求項（抜粋）：

レーリーモード弾性表面波を発生する圧電材料、及びカット面からなる圧電基板1、あるいは弾性体上に圧電材料を被覆した基板1の、圧電材料の表面上に、上記レーリーモード弾性表面波を励振させる入力用対電極2と、この対電極により励振された、レーリーモード弾性表面波の伝搬路3とを合わせ持つ、圧電基板1個、あるいは複数個保持する固定器8よりなる駆動部と、レーリーモード弾性表面波の放射を直接受け、力の伝達部となる液滴4と、液滴上に載置することにより、液滴と共に移動する物体5と、レーリーモード弾性表面波を発生させる信号を入力用対電極に与える駆動回路とを具備することを特徴とする弾性表面波アクチュエータ。