特許

J-GLOBAL ID：200903018903633117

基板洗浄装置およびその基板搬送方法

発明者： 田渡 宏仁
出願人/特許権者： 松下電器産業株式会社
代理人 (1件)： 宮井 暎夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-306362
公開番号（公開出願番号）：特開2003-112134
出願日： 2001年10月02日
公開日（公表日）： 2003年04月15日
要約：

【要約】【課題】 基板の厚みに関係なく、ガラス基板表面に非接触で、搬送を安定化させる。【解決手段】 基板11を枚葉で搬送する搬送系と、搬送系の上下に設けられた洗浄後の基板11の液切りをエアー噴出により行う液切り装置13とを備えた枚葉式基板洗浄装置であって、液切り装置13の上流側に、噴出される流体により基板11を押える基板整列ノズル14を設けた。これにより、液切り装置13からのエアーが搬送されてくる基板11に影響し、基板11にたわみと、搬送系からの浮上を発生させることがなく、基板11の厚みに関係なく、基板表面に非接触で、搬送を安定化させることができる。また、基板整列ノズル14は噴出角度、位置、噴出圧力調整機能を有するので、基板11の厚みが変わる場合は、噴出角度、位置、噴出圧力を調整することで対応できる。

請求項（抜粋）：

基板を枚葉で搬送する搬送系と、前記搬送系の上下に設けられた洗浄後の基板の液切りをエアー噴出により行う液切り装置とを備えた枚葉式基板洗浄装置であって、前記液切り装置の上流側に、噴出される流体により前記基板を押える基板整列ノズルを設けたことを特徴とする基板洗浄装置。

IPC (5件)：

B08B 3/04 ,  B05B 1/04 BBU ,  C03C 23/00 ,  G02F 1/13 101 ,  G02F 1/1333 500

FI (5件)：

B08B 3/04 B ,  B05B 1/04 BBU ,  C03C 23/00 A ,  G02F 1/13 101 ,  G02F 1/1333 500

Fターム (23件)：

2H088FA17 ,  2H088FA21 ,  2H088FA30 ,  2H088HA01 ,  2H088MA20 ,  2H090JB02 ,  2H090JC19 ,  3B201AA01 ,  3B201AB14 ,  3B201AB47 ,  3B201BB22 ,  3B201BB92 ,  3B201CC12 ,  4F033AA04 ,  4F033BA01 ,  4F033BA03 ,  4F033CA01 ,  4F033DA01 ,  4F033EA03 ,  4G059AA08 ,  4G059AB13 ,  4G059AB19 ,  4G059AC30