残渣の検査方法

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：功力妙子
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-153027
公開番号（公開出願番号）：特開平6-342472
出願日： 1993年05月31日
公開日（公表日）： 1994年12月13日
要約：

【要約】【目的】フィルムキャリア等にエッチング等の手段で形成されたパタ-ンとパタ-ンとの間に存在する残渣を自動的に検査する方法を提供すること。【構成】被測定パタ-ンの間隙に存在する前記残渣の大きさを初期設定し,被測定パタ-ンの画像デ-タを画像メモリに記憶するとともに,これを二値化処理し,検査範囲を設定して,この検査範囲内の被測定パターンの境界を追跡してラベリングし,この被測定パタ-ンのラベリングデ-タとマスタパタ-ンのラベリングデ-タとを比較して,マスタパタ-ンのラベリングデ-タ以外のラベリングデ-タを残渣と認識して抽出し,この残渣と認識されたラベリングデ-タの内,検査範囲のいずれの辺にも接していないラベリングデ-タを抽出してその大きさを求め,このラベリングデ-タが初期設定した残渣の大きさ以上の場合を残渣として被測定パタ-ンを不良品と判定するようにしたものである。【効果】パタ-ンとパタン-ンとの間に存在する残渣を自動的に検査できるとともに,その大きさを判定して良品,不良品を判定出来る。

請求項（抜粋）：

被測定パタ-ンの良品をマスタパタ-ンの濃淡画像として画像メモリに記憶し,この画像メモリに記憶された前記マスタパタ-ンの濃淡ヒストグラムからこれを二値化処理し,境界を追跡してラベリングデ-タを求め,基準パタ-ンとなるマスタパタ-ンを作成し,これをマスタパタ-ン情報として登録し,この登録されたマスタパタ-ンと被測定パタ-ンとを比較して残渣を検査するエッチング残りの検査方法において,前記被測定パタ-ンの間隙に存在する前記残渣の大きさを初期設定し,前記被測定パタ-ンの画像デ-タを画像メモリに記憶するとともに,これを二値化処理し,検査範囲を設定して,この検査範囲内の前記被測定パターンの境界を追跡してラベリングし,この被測定パタ-ンのラベリングデ-タと前記マスタパタ-ンのラベリングデ-タとを比較して,前記マスタパタ-ンのラベリングデ-タ以外のラベリングデ-タを残渣と認識して抽出し,この残渣と認識されたラベリングデ-タの内,前記検査範囲のいずれの辺にも接していないラベリングデ-タを抽出して,その大きさを求め,このラベリングデ-タが前記初期設定した残渣の大きさ以上の場合を残渣として前記被測定パタ-ンを不良品と判定することを特徴とする残渣の検査方法

IPC (3件)：

G06F 15/70 455 , G06F 15/62 405 , H01L 21/66

引用特許：

審査官引用 (3件)

特開平3-085742
特開昭62-204379
特開昭61-070672

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