特許

J-GLOBAL ID：200903018918744527

二次元電子像増強装置

発明者： 伊東 克秀 ,  小野田 篤
出願人/特許権者： 浜松ホトニクス株式会社
代理人 (3件)： 長谷川 芳樹 ,  塩田 辰也 ,  寺崎 史朗
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-062304
公開番号（公開出願番号）：特開2004-273275
出願日： 2003年03月07日
公開日（公表日）： 2004年09月30日
要約：

【課題】MCPのゲインを増加させ、かつ、検出感度を向上させる二次元電子像増強装置を提供する。【解決手段】この二次元電子像増強装置は、複数段MCP5において、最後段MCP5oのゲインが、最後段の前段側にある一つの前段側MCP5iのゲインよりも小さく、かつ、これらのゲイン比率は所定割合とされている。これにより、最後段MCP5oにおける、所謂「イオンフィードバック現象」によるノイズが抑制される。したがって、MCP5のゲインを増加させ、かつ、検出感度を向上させることができる。なお、ゲイン比率の所定割合は、前段側MCP5iのゲインを100%とすると、最後段MCP5oのゲインが1乃至20%となることが好適である。【選択図】 図1

請求項（抜粋）：

真空容器内に配置された複数段マイクロチャンネルプレート(MCP)と、前記複数段MCPで増倍された電子を検出する検出部とを備えた二次元電子像増強装置において、前記複数段MCPのうち最後段MCPのゲインは、前記最後段MCPの前段側にある一つのMCPのゲインよりも小さく、かつ、これらのMCPのゲイン比率は所定割合とされることを特徴とする二次元電子像増強装置。

IPC (1件)：

H01J31/50

FI (1件)：

H01J31/50 D

Fターム (6件)：

5C037GG02 ,  5C037GG06 ,  5C037GH11 ,  5C037GH19 ,  5C037GJ03 ,  5C037GJ05