特許

J-GLOBAL ID：200903018920983040

感光性セラミックス組成物

発明者： 定国 広宣 ,  山舗 智也
出願人/特許権者： 東レ株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-121939
公開番号（公開出願番号）：特開2003-316000
出願日： 2002年04月24日
公開日（公表日）： 2003年11月06日
要約：

【要約】 (修正有)【課題】無機粉末の分散性に優れ、かつ露光特性・現像性の良好な感光性セラミックス組成物を提供する。【解決手段】一般式(1)、もしくは(2)で示された構造を持つシラン系化合物を含む感光性有機成分と、無機粉末を有する感光性セラミックス組成物であって、該感光性有機成分には側鎖にカルボキシル基を有する重合体を含み、かつ、該感光性有機成分中に有するカルボキシル基の数とアミン性窒素原子の数の比が10:1〜100:1であることを特徴とする感光性セラミックス組成物。(ただし、一般式(1),(2)中のR1,R2,R11,R12は水素、メチル基、エチル基、メタクリル基から選ばれる少なくとも一種であり、R3,R4,R5,R13,R14は水素、メチル基、エチル基、メトキシ基、エトキシ基から選ばれる少なくとも一種であり、nは1〜5の自然数である。)

請求項（抜粋）：

一般式(1)、もしくは(2)で示された構造を持つシラン系化合物を含む感光性有機成分と、無機粉末を有する感光性セラミックス組成物であって、該感光性有機成分には側鎖にカルボキシル基を有する重合体を含み、かつ、該感光性有機成分中に有するカルボキシル基の数とアミン性窒素原子の数の比が10:1〜100:1であることを特徴とする感光性セラミックス組成物。【化1】(ただし、一般式(1)中のR1,R2は水素、メチル基、エチル基、メタクリル基から選ばれる少なくとも一種であり、R3,R4,R5は水素、メチル基、エチル基、メトキシ基、エトキシ基から選ばれる少なくとも一種であり、nは1〜5の自然数である。)【化2】(ただし、一般式(2)中のR1,R2,R11,R12は水素、メチル基、エチル基、メタクリル基から選ばれる少なくとも一種であり、R3,R4,R13,R14は水素、メチル基、エチル基、メトキシ基、エトキシ基から選ばれる少なくとも一種であり、nは1〜5の自然数である。)

IPC (5件)：

G03F 7/038 ,  C04B 35/16 ,  C04B 35/495 ,  G03F 7/004 501 ,  G03F 7/075 501

FI (5件)：

G03F 7/038 ,  G03F 7/004 501 ,  G03F 7/075 501 ,  C04B 35/00 J ,  C04B 35/16 Z

Fターム (29件)：

2H025AA02 ,  2H025AB17 ,  2H025AC01 ,  2H025AD01 ,  2H025BC13 ,  2H025BC85 ,  2H025CC08 ,  2H025CC20 ,  2H025FA29 ,  4G030AA03 ,  4G030AA04 ,  4G030AA07 ,  4G030AA08 ,  4G030AA17 ,  4G030AA32 ,  4G030AA35 ,  4G030AA36 ,  4G030AA37 ,  4G030AA40 ,  4G030BA12 ,  4G030CA08 ,  4G030GA09 ,  4G030GA14 ,  4G030GA17 ,  4G030GA20 ,  4G030HA09 ,  4G030HA12 ,  4G030HA18 ,  4G030HA25