特許

J-GLOBAL ID：200903018922220869

試料ホルダおよびそれが使用された試料移動装置並びに電子顕微鏡

発明者： 山本 立春 ,  高口 雅成
出願人/特許権者： 株式会社日立製作所
代理人 (1件)： 梶原 辰也
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-069955
公開番号（公開出願番号）：特開2001-256912
出願日： 2000年03月14日
公開日（公表日）： 2001年09月21日
要約：

【要約】【課題】 試料ホルダの先端の占有スペースを薄くしX軸とZ軸とY軸の三軸傾斜機能を兼ね備える。【解決手段】 試料ホルダ1の先端部には球体5と、球体5の中心に貫通して固定された試料保持棒6と、球体5を保持する球面座を有する回転内筒3と、球体5の傾斜操作を行なう傾斜用ロッド4とが設けられており、先端部は電子顕微鏡の電子レンズ11の間に挿入されている。試料7は試料保持棒6の電子ビーム12側に保持される。試料保持棒6の一端に傾斜用ロッド4の先端の斜面を押し付けてZ軸とY軸の傾斜を操作し、傾斜用ロッド4を退避させ所定の傾斜方向に斜面を回転させて所定の傾斜角まで再び押し付けて傾斜方向を変更する。【効果】 球体を任意の方向および角度に回転させてZ軸とY軸の傾斜を操作できるため、狭い空間で三次元傾斜機能を実現できる。

請求項（抜粋）：

球体と、この球体の中心に貫通して固定された試料保持棒と、前記球体を保持する球面座を有する回転内筒と、前記球体の傾斜操作を行なう傾斜用ロッドとを先端部に備えており、電子ビームの方向およびそれに直交する二軸に対する試料の三軸傾斜操作が前記球体の首振り回転および前記球体を保持した前記回転内筒の回転によって実行されるように構成されていることを特徴とする試料ホルダ。

IPC (3件)：

H01J 37/20 ,  G01N 1/00 101 ,  G01N 1/28

FI (4件)：

H01J 37/20 A ,  H01J 37/20 C ,  G01N 1/00 101 C ,  G01N 1/28 W

Fターム (5件)：

5C001AA01 ,  5C001AA03 ,  5C001AA04 ,  5C001AA05 ,  5C001CC03