冷陰極電極及びその製造方法

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：大岩増雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-011722
公開番号（公開出願番号）：特開平7-220623
出願日： 1994年02月03日
公開日（公表日）： 1995年08月18日
要約：

【要約】【目的】冷陰極の製造に際し、冷陰極形状のばらつきが少なく、特性の揃った冷陰極電極を得る。【構成】この発明の冷陰極電極製造方法は、絶縁基板11上にアルミニウム膜13を形成し、その上に所定のパターンの絶縁膜12を形成する工程、絶縁膜12をマスクとしてアルミニウム膜13を選択的に陽極酸化し、陽極酸化膜14内にアルミニウムコーン13aを形成する工程、陽極酸化膜14上の、マスク用絶縁膜12を除いた部分にゲート電極用のモリブデン膜5を形成する工程、及びマスク用絶縁膜12を除去する工程からなる。

請求項（抜粋）：