特許
J-GLOBAL ID：200903018943337162
微量有機物分析方法及び装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
高橋 三雄 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-097243
公開番号（公開出願番号）：特開平6-288881
出願日： 1993年03月31日
公開日（公表日）： 1994年10月18日
要約：
【要約】【目的】 シリコンウエハや電子基板等に付着する微量有機物の必要箇処の測定を行う。【構成】 フローセル1は台4と蓋5により構成され、内部に収容室3を形成させる。フローセル1は加熱炉内に収納される。フローセル1にはキャリヤーガスの供給孔7,7,7,7と排出孔13,14を設ける。排出孔13,14の所望する一方を切換バルブ22を介してトラップ管29に接続して排出孔13或は14を経て試料より脱着した有機物をトラップ管29に捕集する。切換バルブ22の切換により、トラップ管29に捕集した有機物を、TCT、ガスクロマトグラフに送り分析する。
請求項（抜粋）：
蓋を台上に載置させて内部に収容室を形成させたフローセルを加熱炉に設置し、収容室内に収容させたシリコンウエハ等の試料を加熱して有機物を脱着させ、キャリヤーガスをフローセルに供給しつゝ試料上下からキャリヤーガスを排出させ、所望側のキャリヤーガスから求める成分を取出すことを特徴とする微量有機物分析方法。
IPC (2件)：
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